Clavus Ceramicus Sustentans pro Apparatibus Processus Semiconductoris
Clavi ceramici sustentantes St.Cera (etiam clavi elevatorii vel clavi sustentatorii noti) in cameris semiconductorum ad elevandas crustas vel substrata durante manipulatione, calefactione, vel refrigeratione adhibentur. Ex 99.8% alumina vel silicii nitrido fabricati, hi clavi magnam vim compressionis, stabilitatem thermalem, et resistentiam chemicam offerunt. Designatio hemisphaerica vel plana apicis scalpendi crustas impedit.
Specificationes(Alumina 99.8%):
| Possessio | Valor |
| Materia | 99.8% Al₂O₃ vel Si₃N₄ |
| Longitudo | 10 – 100 mm |
| Diameter | 1 – 10 mm |
| Forma Apicis | Planus, hemisphaericus, acuminatus |
| Robur Compressivum (Al₂O₃) | >2000 MPa |
| Temperatura Maxima Operativa (Al₂O₃) | 1600°C |
| Superficies Finis | Lapsus (Ra ≤0.4 μm) |
| Tolerantia Diametri | ±0.01 mm |
Applicationes:
Clavi elevatorii in cameris CVD/PVD
Pali sustentantes ad coquendum in lamina calida
Structurae sustentatrices chartae exploratoriae
Fulcra navium fornacis quartzaceae
Fabricatio:
Rectificatio accurata sine centro exterioris → rectificatio adamantina profili apicis → purgatio ultrasonica → inspectio dimensionalis centum per centum.
Qualitatis Moderatio:
CMM pro longitudine/diametro, comparator opticus pro radio apicis, probatio oneris ad robur compressionis verificandum (exempli fortuiti per seriem). Nulla contaminatio ferromagnetica (magnete verificata).
Commoda prae fibulis metallicis vel quarzo:
Quinque vicibus longior vita quam chalybs inoxidabilis
Nulla contaminatio metallica in camera processus
Capacitas temperaturae altioris quam quartz (1600°C contra 1100°C)
Superficies non adhaerens (adhaesio particularum imminuta)
Adaptatio:
Formae apicis multiplices, basis filetata, vel axis conicus.
Clavos SiC etiam ad condiciones plasmatis extremas praebemus.
