Anulus Insulationis Aluminae PVD pro Systematibus Depositionis Vaporis Physici
Anulus insulationis PVD St.Cera ex alumina purissima 99.8% (Al₂O₃) fabricatur ad usum in systematibus depositionis vaporis physici (PVD). Anulus isolationem electricam inter partes camerae praebet, arcus electricos prohibens et operationem plasmatis stabilem curans. Proprietates praecipuae includunt robur dielectricum magnum (15×10⁶ V/m), resistentiam specificam >10¹⁴ Ω·mm²/m, et stabilitatem thermalem usque ad 1600°C. Nostrae facultates machinationis accuratae diametros externos usque ad 600mm, diametros internos usque ad 0.2mm, planitatem 0.003mm, et superficiem Ra0.1 attingunt. Porositas nulla et inertia chemica anuli firmitatem diuturnam in ambitus aggressivis pulverisationis cathodicae praestant.
Specificationes (fundatae in 99.8% Al)₂O₃& facultates fabricationis St.Cerae):
| Possessio | Valor |
| Materia | 99.8% Alumina (Ebur) |
| Densitas | 3.93 g/cm³ |
| Robur Flexurale | 361 MPa |
| Duritia Vickersiana | 16 GPa |
| Robur Dielectricum | 15×10⁶ V/m |
| Resistentia Specifica | >10¹⁴ Ω·mm²/m |
| Diameter Externus Maximus | 600mm |
| Diameter Internus Minimus | 0.2mm |
| Crassitudo Maxima | 100mm |
| Planities | 0.003mm |
| Parallelismus | 0.002mm |
| Superficies Finis | Ra0.1 |
| Temperatura Operativa Maxima | 1600°C |
Applicationes:
- · Insulatores laminarum fulcimentorum scopi in systematibus PVD
- · Isolatores per cameram transitus
- · Insulatores anuli clypei in systematibus pulverisationis cathodicae
- Isolatio altae tensionis in cameris plasmatis
Praecisio Fabricationis:
Concentricitas: 0.01mm, rotunditas: 0.002mm, rectitudo: 0.005mm, perpendicularitas: 0.005mm, per CMM verificata.
ACommoda super Insulatores Polymericos:
- · 1600°C sustinet contra limitem polymerorum <300°C
- · Nulla effusio gasorum – integritatem vacui conservat
- Erosionem plasmatis et impetum chemicum resistit
Adaptatio:
Sectiones transversales, notae figendi, formae graduum, et plura designia anulorum concentricorum ad usum clientium praesto sunt.
